반응성 스퍼터링법을 이용한 고속도강 기관상의 (Ta, Si)N, Ti(C, N) 경질코팅막 증착과 막의 기계적 성질 연구 =

Title
반응성 스퍼터링법을 이용한 고속도강 기관상의 (Ta, Si)N, Ti(C, N) 경질코팅막 증착과 막의 기계적 성질 연구 =
Authors
나정우
Keywords
스퍼터링법
Issue Date
1999
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11546
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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