Cu의 확산방지막으로서의 Nb-Si-N와 Ta-Si-N의 열적안정성에 관한 연구 =

Title
Cu의 확산방지막으로서의 Nb-Si-N와 Ta-Si-N의 열적안정성에 관한 연구 =
Authors
배형진
Keywords
확산방지막
Issue Date
1999
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11531
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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