플라즈마 식각 및 증착 공정 시뮬레이터 개발 연구 =

Title
플라즈마 식각 및 증착 공정 시뮬레이터 개발 연구 =
Authors
권오섭
Keywords
플라즈마
Issue Date
1999
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11530
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
Files in This Item:
12052.pdfDownload

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

Browse