대면적 유도 결합성 플라즈마 소스 제작에 관한 연구 =

Title
대면적 유도 결합성 플라즈마 소스 제작에 관한 연구 =
Authors
김철호
Keywords
플라즈마
Issue Date
1999
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11521
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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