ULSI DRAM 의 Capacitor 용 Paraelectric BST 박막 및 전극개발에 관한 연구 =

Title
ULSI DRAM 의 Capacitor 용 Paraelectric BST 박막 및 전극개발에 관한 연구 =
Authors
오영석
Keywords
전극개발
Issue Date
1998
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11496
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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