유도 결합형 플라즈마에 의한 백금과 루스늄산물 박막의 식각 반응기구에 관한 연구 =

Title
유도 결합형 플라즈마에 의한 백금과 루스늄산물 박막의 식각 반응기구에 관한 연구 =
Authors
이종근
Keywords
유도결합형플라즈마
Issue Date
1998
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11494
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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