Reactive Ion Etch(RIE)와 Inductively Coupled Plasma(ICP)에서 백금 건식식각에 관한 연구 =

Title
Reactive Ion Etch(RIE)와 Inductively Coupled Plasma(ICP)에서 백금 건식식각에 관한 연구 =
Authors
윤창식
Keywords
백금건식식각
Issue Date
1996
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11450
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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