ECR 플라즈마 CVD를 이용한 대면적 Si 기판위의 다이아몬드박막 핵생성 제어에 관한 연구 =

Title
ECR 플라즈마 CVD를 이용한 대면적 Si 기판위의 다이아몬드박막 핵생성 제어에 관한 연구 =
Authors
전형민
Keywords
다이아몬드박막
Issue Date
1996
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11445
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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