ULSI DRAM 의 Capacitor Dielectric을 위한 BST 박막의 제작과 특성에 관한 연구 =

Title
ULSI DRAM 의 Capacitor Dielectric을 위한 BST 박막의 제작과 특성에 관한 연구 =
Authors
유정선
Keywords
BST박막의제작
Issue Date
1996
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11440
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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