ULSI DRAM의 Capacitor dielectric 용 Paraelectric PLT 박막의 제작과 특성에관한 연구 / =

Title
ULSI DRAM의 Capacitor dielectric 용 Paraelectric PLT 박막의 제작과 특성에관한 연구 / =
Authors
강성준
Keywords
ParaelectricPLT박막
Issue Date
1994
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11358
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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