EAPap 를 이용한 온습도 센서 및 표면탄성파 디바이스 연구=

Title
EAPap 를 이용한 온습도 센서 및 표면탄성파 디바이스 연구=
Authors
이민희
Keywords
SAW
Issue Date
2009
Publisher
인하대학교
Abstract
본 논문에서는 차세대 지능재료의 하나인 Electro-Active Paper(EAPap)를 이용한 MEMS device 에 대한 연구를 진행하였다. EAPap 은 이온 전이효과와 압전효과에 의해 저전력하에서 변형을 일으키는 지능재료로써, 재료 자체의 무게가 가벼우며 온도와 습도에 민감하고 큰 변위, 유연성, 낮은 전력소모, 높은 가격 경쟁력 등을 가지고 있다. 유연한 셀룰로오스 필름위에 Micro patterning 기법을 이용하여 Interdigita
Description
제 1 장 서론 = 1 1.1 연구배경 = 1 1.2 연구목적 = 2 1.3 연구내용 = 3 제 2 장 Device 의 원리 및 제작 = 7 2.1 온·습도 센서 원리 = 7 2.2 SAW Device 원리 = 7 2.2.1 압전 효과 = 8 2.2.2 탄성 표면파 = 9 2.2.3 IDT 구조를 이용한 탄성 표면파 검출 = 12 2.3 Device 제작 = 14 2.3.1 Device 구조 = 14 2.3.2 기판 재료 =
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/10572
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College of Engineering(공과대학) > Mechanical Engineering(기계공학) > Theses(기계공학 석박사 학위논문)
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