MEMS 기술을 이용한 미세 힘센서의 설계 =

Title
MEMS 기술을 이용한 미세 힘센서의 설계 =
Authors
조운기
Issue Date
2002
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/10228
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Mechanical Engineering(기계공학) > Theses(기계공학 석박사 학위논문)
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