극미세 접합 형성을 위한 게르마늄 선주입후 붕소 확산에 대한 원자단위 모델링/

Title
극미세 접합 형성을 위한 게르마늄 선주입후 붕소 확산에 대한 원자단위 모델링/
Authors
김중식
Keywords
확산
Issue Date
2007
Publisher
인하대학교
Abstract
본 논문에서는 소자 내 불순물의 확산 분포를 예측하기 위해 확률적 수치해석 방법인 동역학적 몬테 카를로 (kinetic Monte Carlo) 방법을 사용한다. 동역학적 몬테 카를로 방법이란 몬테 카를로 방법의 일종으로 물리계에서 일어나는 현상에 대해서 각각 발생 확률을 얻어 시뮬레이션 하고자 하는 물리적 현상을 발생 확률에 따라 무작위 선택(random selection)하여 물리적 현상을 추적해 나가는 수치 해석적 방법이다. 본 논문에서는 동역학적
Description
제 1 장 서론 = 1 제 2 장 확산 모델링 = 4 2.1 기본 확산 방정식 = 4 2.2 점결함 (pointdefect) = 6 2.3 확장 결함 (extendeddefect) = 10 2.3.1 틈새원자 클러스터 (Icluster) = 11 2.3.2 결공 클러스터 (V cluster) = 16 2.4 원자 단위 확산 모델링 = 18 2.4.1 결함의 형성 및 이동 = 18 2.4.2 붕소(B) 확산 메커니즘 = 26 제 3
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/9158
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College of Engineering(공과대학) > Graduate School of Engineering (공학대학원) > Theses(공학대학원 석박사 학위논문)
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