OTFT 게이트 절연층용 플라즈마 중합 고분자박막의 제작=

Title
OTFT 게이트 절연층용 플라즈마 중합 고분자박막의 제작=
Authors
양현남
Issue Date
2009
Publisher
인하대학교
Abstract
본 논문에서는 건식중합법의 하나인 RF 플라즈마 진공증착 중합법으로 MMA를 모노머로 하는 고분자 중합박막을 제작하였다. 플라즈마 중합 MMA (ppMMA) 박막의 물성과 전기적 특성을 조사하여 반도체 소자용 절연막으로의 적용 가능성을 알아보았다. 플라즈마 중합 MMA 박막의 박막 두께, 조성 및 유전특성과 가스압력 및 증착시간의 조건들과 비교하여 조사하였다. 플라즈마 중합 MMA 박막 위에 유기 반도체 물질인 pentacene 박막을 진공열증착법으로
Description
제1장 서론 = 1 1.1 연구의 배경 및 필요성 = 1 1.2 연구목적 및 내용 = 5 제2장 이론 = 6 2.1 박막제조기술 = 6 2.1.1 플라즈마 중합법 = 7 2.1.2 박막의 성장이론 = 8 2.1.3 RF 플라즈마 진공증착 중합기구 = 10 2.2 고분자 절연막 = 11 2.3 분자량분포와 평균 분자량 = 12 2.4 방향족 polymide의 분류 = 13 2.4.1 폴리아믹산의 합성경로 = 14 2.4.2 폴
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/8608
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College of Engineering(공과대학) > Graduate School of Engineering (공학대학원) > Theses(공학대학원 석박사 학위논문)
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