微細 回路의 電氣的 特性 檢査 機構 具現에 관한 硏究=

Title
微細 回路의 電氣的 特性 檢査 機構 具現에 관한 硏究=
Authors
이장군
Keywords
미세 회로
Issue Date
2008
Publisher
인하대학교
Abstract
본 논문에서는 미세 회로의 전기적 특성 검사 기구에 있어, 높은 비용의 니들 또는 프로브를 이용한 검사 기구를 대체 할 수 있는 빠르고 낮은 비용의 새로운 검사 기구를 제안하였다. 디바이스가 고집적화 및 고속화되고 있어, 디바이스 배선의 미세화가 요구되고 최소 선폭이 지속적으로 줄고 있다. 그러나 미세화 되어 가는 디바이스를 검사 하기 위한 검사 기구의 니들 또는 프로브는 고가의 소모성 부품으로 사용 시간에 따라 지속적으로 높은 비용의 검사 기구
Description
제1장 서론 1 제2장 전기적 특성 검사 장비의 개요 4 제3장 전기적 특성 검사 모듈의 개요 16 제4장 미세회로의 전기적 특성 검사기구에 대한 설계 및 고찰 34 제5장 결론 49 참고문헌 51
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/8549
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College of Engineering(공과대학) > Graduate School of Engineering (공학대학원) > Theses(공학대학원 석박사 학위논문)
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